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技術(shù)應(yīng)用

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技術(shù)應(yīng)用
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砷化鎵GaAs HBT產(chǎn)業(yè)鏈與射頻PA

發(fā)布時(shí)間:2022-12-19作者來源:金航標(biāo)瀏覽:3355

作為第二代半導(dǎo)體的“扛把子”,砷化鎵(GaAs)具有高頻率、高電子遷移率、高輸出功率、高線性以及低噪聲等特點(diǎn),在光電和射頻領(lǐng)域有著非常廣泛的應(yīng)用。


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砷化鎵是直接帶隙材料,導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂在K空間(K空間即傅里葉變化的頻率空間)同一位置,電子吸收能量后可以直接躍遷進(jìn)入激發(fā)態(tài),無需聲子參與;也可以直接從導(dǎo)帶下落到價(jià)帶,因此載流子壽命很短,電子和空穴直接復(fù)合可以發(fā)光。


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所以砷化鎵可以用來制作LED(發(fā)光二極管),主要是黃光、紅光和紅外光。氮化鎵禁帶更寬,主要用來發(fā)藍(lán)光、綠光和紫外光。


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砷化鎵是發(fā)光材料,加上泵浦源和諧振腔,即可選頻制成激光器650nm-1300nm波長(zhǎng)的低功率激光器都可以用砷化鎵材料設(shè)計(jì),典型代表是VCSEL(垂直腔表面發(fā)射激光器),廣泛應(yīng)用在短距離數(shù)據(jù)中心光纖通信,TOF人臉識(shí)別等。


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GaAs 的電子遷移率是硅的五倍,HBTFt高達(dá)45GHz0.25um E mode pHEMTFt更是高達(dá)70GHz,因此GaAs非常適合設(shè)計(jì)Sub-7GHz射頻器件。蜂窩和WLAN PA常用GaAs HBT設(shè)計(jì);開關(guān)、LNA等則采用pHEMT工藝。


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除了LEDVCSELRF Device之外,GaAs憑借其優(yōu)異性能在光電探測(cè)、調(diào)制驅(qū)動(dòng)、衛(wèi)星電視等領(lǐng)域也有大量應(yīng)用,但主要還是靠“三巨頭“出貨。


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GaAs一年出貨約260萬片(折合6寸),LED約占四成,RF Device約占三成, VCSEL約占8%。從單片價(jià)格來看,則是VCSEL>RF Device>LED,因此從銷售額角度統(tǒng)計(jì)可能會(huì)是另一種結(jié)論。


不同的產(chǎn)品需要用不同的外延片加工。整個(gè)砷化鎵產(chǎn)業(yè)鏈可以細(xì)分為襯底、外延、晶圓代工、芯片設(shè)計(jì)四個(gè)環(huán)節(jié)。至于封測(cè),LGA/QFN都可以做,和硅基產(chǎn)品沒明顯區(qū)別。


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襯底(Substrate)是產(chǎn)業(yè)鏈的源頭,襯底廠采購金屬鎵和高純砷后,采用 LEC 法(液封直拉法,Freiberger采用)、 HB 法(水平布里奇曼法)、 VB 法(垂直布里奇曼法,Sumitomo采用)或 VGF 法(垂直梯度凝固法,AXTFreiberger采用)等,生長(zhǎng)出砷化鎵晶體,切片研磨拋光后賣給外延廠。主流的砷化鎵襯底廠主要有德國(guó)費(fèi)里伯格(Freiberger)、日本住友電氣(Sumitomo)、北京通美(AXT)、英國(guó)IQE、日本同和(Dowa)、云南鍺業(yè)等。臺(tái)灣企業(yè)一般翻譯為基板。


外延廠(Epi)采購襯底后,采用MOCVD法(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積,主流方案)或MBE法(分子束外延)在襯底上一層一層地長(zhǎng)出摻雜和厚度都不同的薄膜,故而臺(tái)灣企業(yè)翻譯為磊晶(磊晶圓薄膜),非常直觀形象。大陸企業(yè)翻譯為“外延”,更注重“意”和“神”,頗有嚴(yán)復(fù)先生“信達(dá)雅”的遺風(fēng)。主流的外延片廠主要有英國(guó)IQE、臺(tái)灣全新光電、日本住友化學(xué)、臺(tái)灣英特磊等。臺(tái)灣聯(lián)亞光電專注光電領(lǐng)域。


晶圓代工廠(Fab)與芯片廠和終端廠關(guān)系較緊密,也更為人所熟知。晶圓廠采購?fù)庋悠螅凑招酒瑥S的設(shè)計(jì)進(jìn)行光刻,加工出所需要的電路。根據(jù)所用襯底和工序的不同,迭代出不同的工藝。穩(wěn)懋占據(jù)砷化鎵代工公開市場(chǎng)的七成以上份額,優(yōu)異的可靠性和一致性獲得幾乎所有芯片廠和終端廠的認(rèn)可,三座fab均通過IATF16949車規(guī)認(rèn)證。宏捷科的工藝來自美企射頻大廠Skyworks,除了給Skyworks代工之外,也接受其他芯片設(shè)計(jì)廠的訂單。環(huán)宇通訊運(yùn)營(yíng)在美國(guó),4寸線成本較高,運(yùn)營(yíng)吃力,目前主要以技術(shù)授權(quán)形式參與產(chǎn)業(yè)鏈。三安的技術(shù)授權(quán)就來自GCS,早年更是準(zhǔn)備收購GCS,被美國(guó)外國(guó)投資委員會(huì)否掉后轉(zhuǎn)而合資成立公司,現(xiàn)已獨(dú)立代工砷化鎵,在LED領(lǐng)域份額很高。承芯的技術(shù)授權(quán)也來自GCS,當(dāng)前以VCSEL為主。聯(lián)穎來自聯(lián)電的Fab 6,除了GaAs之外還代工CMOS/BCD/SAW等另類工藝。福聯(lián)的技術(shù)授權(quán)來自聯(lián)穎,雖成立較晚,但HBT0.25um E/D Mode pHEMT工藝均已成熟。立昂東芯自主研發(fā)了GaAs工藝,已獲得不少芯片廠的訂單,正在積極擴(kuò)產(chǎn)。海威華芯技術(shù)來自中電29所,專注于pHEMT工藝,HBT工藝份額較少。


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產(chǎn)業(yè)鏈接總結(jié)如下。


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GaAs主要有HBTpHEMT兩種技術(shù)。HBT是縱向器件,對(duì)光刻精度要求不高,一般為1-3um,將發(fā)射極改用InGaP材料可以形成異質(zhì)結(jié),從而使發(fā)射區(qū)輕摻雜,基區(qū)重?fù)诫s,提高載流子注入效率,減小基極電阻,發(fā)射結(jié)電容,提高震蕩頻率,增加厄利電壓。pHEMT是橫向器件,器件性能受柵寬制約,需要更高的光刻精度,一般為0.5-0.15um,因?yàn)槌杀据^高,所以在PA的應(yīng)用不如HBT多,主要用在LNA和開關(guān)上。


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(能堅(jiān)持看到這里的讀者[敏感詞]是對(duì)技術(shù)、對(duì)產(chǎn)業(yè)都有濃厚的興趣,能靜下心來研究,接下來才是本文最有價(jià)值的內(nèi)容。)


因?yàn)?span style=";padding: 0px;outline: 0px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important">pHEMT工藝吃光刻,成本較高,因此在射頻領(lǐng)域HBT是[敏感詞]的王者。射頻PA基本都采用InGaP/GaAs HBT工藝加工,16層光刻,有濕法刻蝕和干法刻蝕之分。

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頭部的三家芯片廠都是IDM模式。Skyworks在美國(guó)有兩座6寸廠,并會(huì)在穩(wěn)懋和宏捷科代工。Qorvo有多座4/6/8寸晶圓廠,產(chǎn)能充足,自給自足。Broadcom有兩座6寸廠,仍會(huì)找穩(wěn)懋代工。


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高通是fabless模式,RF360設(shè)計(jì)的MMMB PALPAMiD/LPAMiF基本都在穩(wěn)懋生產(chǎn)。村田的LPAMiD除了穩(wěn)懋代工之外,也會(huì)和Skyworks合作。海思在制裁之前陪著三安打磨工藝。唯捷創(chuàng)芯以PA業(yè)務(wù)為主,MMMB PATXMLPAMiFWi-Fi FEM主要在穩(wěn)懋生產(chǎn),為了擴(kuò)產(chǎn)和降本也會(huì)去宏捷科。飛驤和穩(wěn)懋有過一段不愉快的往事,MMMB PATXMLPAMiFWi-Fi FEM現(xiàn)在主要在三安生產(chǎn),在宏捷科和聯(lián)穎也有擴(kuò)產(chǎn)。昂瑞微的Phase 5N MMMB PA可謂一絕,另有MMMB PATXMLPAMiF產(chǎn)品,主要在穩(wěn)懋、聯(lián)穎和立昂生產(chǎn)。慧智微以UHB LPAMiF一戰(zhàn)成名,MMMB PATXM等主要在穩(wěn)懋代工,與三安也開始合作。銳石后發(fā)先至,MMMB PATXMLPAMiFWi-Fi FEM布局較快,主要在穩(wěn)懋、三安和宏捷科代工。卓勝以接收模組和分立器件切入,Wi-Fi FEMLPAMiF進(jìn)展神速,主要在福聯(lián)和聯(lián)穎生產(chǎn)。


在需求側(cè),以國(guó)內(nèi)手機(jī)、物聯(lián)網(wǎng)模塊和網(wǎng)通路由等產(chǎn)品為基礎(chǔ),die size按照主流型號(hào)均值估算,射頻芯片國(guó)內(nèi)月需求約25,0006寸等效GaAs HBT晶圓。考慮海外蘋果和三星支持頻段更多,GaAs需求量更大,預(yù)估海外需求約15,000片。Wi-Fi FEM可以采用SiGe設(shè)計(jì),性能和功耗都很好,對(duì)GaAs需求影響不大。因此全球GaAs HBT總需求約40,0006寸等效晶圓。


這里需要更正公眾的一個(gè)認(rèn)知,射頻不是一個(gè)頻段(Band)用一顆PA,而是一段頻段用一顆PA,常規(guī)做法是0.6-1GHz一顆,1.8-2.2GHz一顆,2.3-2.7GHz一顆,即通常說的低頻(LB),中頻(MB),高頻(HB)。至于新增的n77/78,因?yàn)槭且欢晤l段,覆蓋3.3-4.2GHz,也是一顆PAn79單獨(dú)一顆。而Wi-Fi則分為2.4G5G,分別用一顆。根據(jù)設(shè)備支持的MIMO(多入多出)數(shù)量,會(huì)適當(dāng)增加PA顆數(shù)。當(dāng)然,在終端看到的時(shí)候,sub-3G的經(jīng)常會(huì)集成在一起變成一顆大PA芯片,sub-6g會(huì)集成在一起變成一顆大PA芯片。


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在供給側(cè),公開代工廠GaAs總產(chǎn)能約14萬六寸片,GaAs HBT46,000片足夠滿足全球需求。


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另外SkyworksQorvoBroadcom自有工廠也可以生產(chǎn)GaAs HBT,公開代工廠都在大力擴(kuò)廠,未來GaAs HBT很可能出現(xiàn)產(chǎn)能過剩,雖然mini LEDVCSEL需求增長(zhǎng)迅速,但體量短期仍無法和射頻PA相比。


接下來只能期待國(guó)產(chǎn)芯片替代歐美品牌,大陸代工廠替代海外代工廠了。




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